Применение графита в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности

Процесс развития и расширения рынка приложений

Разработка полупроводников неотделима от применения графитовых материалов в полупроводниковой промышленности. В полупроводниковой промышленности большое количество высокочистых графитовых материалов используется в системе нагрева монокристаллических печей Чохральского. Он также используется в качестве вспомогательных инструментов и компонентов при обработке полупроводниковых кремниевых пластин (включая зонную плавку, эпитаксию, обработку формы и т. д.); в качестве вспомогательных средств и компонентов при производстве поликремниевых материалов для полупроводниковых кремниевых пластин. Изделия из графита для электронной техники впервые используются в полупроводниковой промышленности. В 21 веке фотоэлектрическая промышленность быстро развивалась, а производство и рынок слитков поликристаллического кремния для солнечных элементов росли как на дрожжах, что также обеспечивает новый рынок с широкими перспективами развития графитовых продуктов в фотоэлектрической промышленности. Поликремний в слитках, важное сырье для кремниевых пластин солнечных элементов, начал использовать большое количество высокочистых и высококачественных графитовых материалов в печи для слитков своего производственного устройства.

Обзор рынка полупроводниковых приложений графитовых продуктов

Графитовые детали, используемые в монокристаллической печи Чохральского, являются своего рода расходными деталями, которые обрабатываются из различных высокочистых графитов. Например, в графитовом тигле и других графитовых деталях используется мелкозернистый графит высокой чистоты; в графитовом нагревателе используется изотропный графит высокой чистоты; в графитовой изоляционной крышке и графитовой крышке используется среднезернистый графит высокой чистоты.

Обзор рынка графитовых продуктов для солнечных батарей

При производстве слиткового поликремниевого оборудования графитовые материалы требуются для нескольких компонентов. В частности, нагревательный материал, используемый в нагревателе печи для слитков - графит высокой чистоты, и используемый теплоизоляционный материал - теплоизоляционный материал из углеродного войлока высокой чистоты, являются важными и незаменимыми вспомогательными материалами для слиткового поликремниевого оборудования в настоящее время.

Поскольку температура нагрева нагревателя печи для слитков очень высока (более 1600 градусов), его нагревательный материал должен не реагировать с кремниевым материалом и не загрязнять кремниевый материал, поэтому его можно использовать в вакууме и инертной атмосфере. надолго. Есть металлический вольфрам, молибден и неметаллический графит для нагревателей, которые можно выбрать в зависимости от условий использования. Поскольку вольфрам и молибден дороги и трудны в обработке, графит имеет широкий спектр источников и может быть переработан в различные формы. Кроме того, графит обладает такими характеристиками, как небольшая тепловая инерция, быстрый нагрев, высокая термостойкость, хорошая стойкость к тепловому удару, большая площадь излучения, высокая эффективность нагрева и стабильная базовая производительность. Из-за этого графитовый материал стал предпочтительным нагревательным материалом в нагревателях печей для слитков. Слитковые нагреватели предъявляют строгие требования к теплоизоляционным материалам. Это должен быть материал с высокой термостойкостью, низкой плотностью, низкой теплопроводностью, меньшим накоплением тепла, хорошим теплоизоляционным эффектом, меньшим выделением газов, легким весом и малым коэффициентом расширения. Таким образом, углеродный войлок высокой чистоты является наиболее идеальным среди многих огнеупорных изоляционных материалов.

Вышеупомянутые два типа графитовых изделий, используемых в полупроводниковой и фотогальванической промышленности, были в основном импортированы из-за рубежа (или предоставлены предприятиями материкового Китая, финансируемыми из-за рубежа) несколько лет назад. Но благодаря совместным усилиям графитовой промышленности Китая, промышленности полупроводниковых материалов, промышленности оборудования для электронной промышленности, собственного производства этих двух типов графита в Китае, поддерживающего как технологию производства, так и применение технологии, достигнут большой прогресс, рыночная модель изменилась. также сильно изменился. Это также предоставляет графитовой промышленности Китая новые возможности для освоения новых рынков в этом отношении. Но в то же время также необходимо видеть, что, хотя рынок изотропного графита большого размера и высокой чистоты в Китае быстро растет, китайская технология производства в этой области все еще не адаптирована к аспектам, технологии все еще имеют большой разрыв с зарубежные передовые страны. Являясь важным материалом для основного оборудования в микроэлектронной и фотогальванической промышленности, графитовые изделия нуждаются в постоянном технологическом прогрессе в Китае. Крайне важно укреплять сотрудничество с полупроводниковой промышленностью и промышленностью по производству кремниевых материалов для фотоэлектрических элементов, а также вкладывать дополнительные средства в разработку поддерживающих их продуктов из высококачественного графита.